Overhaul
IGS Gas Panel Overhaul
반도체 장비에 장착 되는 핵심 Module로
공정 Gas를 정밀하게 공급 조절 하는
IGS Type Gas Module을 Overhaul 진행하여 공급.
Disassemble Process
- Gas 입고 검수 및 Air Tube, Cable 제거.
- Pneumatic Valve(Air Valve, Manual Valve,
Regulator, PT Sensor 등),
Base Block, Gas Line, SUS Panel을 분해 .
- 각종 Spec에 맞게 작업 실시.
- Setting시 규격에 맞는 전용 Tool을 적용,
Torque 관리가 철저히 이루어 지고 있음.
- Regulator & Valve 및 Gas Line 정밀 세정.
- Valve 개별 Leak Check 및 조립 後
Module & Total Leak Check 실시.
- He Leak check 결과 0.0E-11 Torr-ℓ/sec.
Gas Box Panel(VCR Type), Valve, Gas Line Overhaul
√ Helium Leak Check
√ Particle Check
√ Integrity Check
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